ICP-MS是大多数科研机构的必备设备之一。ICP利用强功率的高频RF信号施加在电感线圈上，在线圈内形成高温等离子体，并通过气体的促进确保等离子体的平衡和连续电离。在
icp ms中，ICP充当离子源。高温等离子体使样品中大多数元素的电子电离，形成单价正离子。
ICP-MS原理：
ICP-MS是一种无机多元素分析技术，使用电感耦合等离子体作为离子源，并使用质谱进行检测。等离子体的高温使样品去溶剂化、蒸发、离解和电离。部分等离子体通过不同的压力区进入真空系统。在真空系统中，正离子根据其质荷比被拉出并分离。与icp oes在使用和工作原理上有所不同。
ICP-MS的特点：
ICP-MS具有灵敏度高、检出限低、线性动态范围宽、多元素同时分析等特点。同时，icp ms和HPLC色谱法可用于分析食品、医药、生物、环境等样品中砷、铅、镉、汞、铬和硒的价态。
icp oes有以下几部分组成：
1、接口
接口一般由2-3个锥体组成，即采样锥体和截取锥体。采样孔径一般为0.75-1mm。冷却的采样锥靠近等离子体矩形管。其内锥孔与矩形管的中心管对齐。锥形顶部和矩形管口之间的距离约为1cm。采样锥后面有一个截锥。形状小于采样锥，且锥大于采样锥。与取样锥一样，截取锥在尖端顶部有一个小孔。两个锥体之间的安装距离为6-7mm，且位于同一轴线上。
2、光学系统
其主要功能是避免中性粒子的干扰，并实现向四级棒传输离子和聚焦的目的。
3、四级磁极
四级杆由四个具有双曲面或圆形横截面的杆状电极组成。在两组电极之间施加频率在RF范围内的特定DC电压和AC电压。
如果交流电压的频率保持恒定并且直流电压和交流电压的幅度持续变化（但是它们的比率保持恒定，电压扫描），或者交流电压的频度持续变化而电压保持恒定（频率扫描），具有不同质荷比的离子可以到达收集器（检测器）以获得质谱。
